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 電鑄模具制作流程：

(1)模具基底前處理包括高純度鎳基板的機械加工前處理和表面清洗,表面清洗采用有機溶劑除油法,有機溶劑采用丙酮和乙醇；

    (2)在微電鑄母模的制作工序中,SU-8光刻膠與種子層采用光刻技術中的套刻工藝,通過光刻膠的顯影得到自由空間；

    (3)在微電鑄工序中,將電鑄鎳金屬填充于自由空間中,微電鑄電鑄液的配方為氨基磺酸鎳：360～380g/L、氯化鎳：5～10g/L、硼酸：50～60g/L；微電鑄工藝條件為：PH值：3.5～4.0、溫度：50℃～55℃、電流密度1～2A/dm2。

    (4)在微電鑄后處理工序中,先進行真空退火處理,其溫度為200～800℃、時間為60～200分鐘；再進行精磨加工。 按照該方法制作的微電鑄金屬模具具有側壁垂直度、表面光潔度好的優點,解決基于模塑法、熱壓法的大規模、低成本生產的聚合物、塑料產品質量低下的問題。適用于有機聚合物、塑料的微細加工。

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