一種微電鑄金屬模具的制作方法,包括模具基底前處理、微電鑄母模的制作、微電鑄、微電鑄后處理、模具的檢測工序,其特征是:采用“無背板生長法”,無背板生長法就是通過紫外線UV照射光刻掩模板直接在鎳基板上電鑄出微結構圖形;在微電鑄母模的制作工序中,在SU-8光刻膠與基板間加入了光刻膠的種子層;在微電鑄后處理工序中,采用真空退火,其制作方法的具體步驟如下:
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